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Neuer Reinraum und neues Tieftemperaturlabor an der Universität Regensburg

Neue Labors werden eröffnet


Pressemitteilung vom 29. Januar 2018

Nach mehrjähriger Bauzeit wird an der Universität Regenburg ein neuer, 319 qm großer Reinraum für die Herstellung von Nanostrukturen und ein neues Tieftemperaturlabor eröffnet. Die Möglichkeit Materialien auf einer 10-nm Skala zu strukturieren und unter extremsten Bedingungen zu untersuchen, erlaubt es einerseits Grundlagenforschung auf international konkurrenzfähigen Niveau zu betreiben und vermittelt andererseits den Absolventinnen und Absolventen praktische Fähigkeiten auf dem Gebiet der Halbleiter- und Nanotechnologien. Diese Kompetenzen werden auch von High-Tech Unternehmen in der Region gesucht und geschätzt.
Die feierliche Eröffnung der neuen Labors fand am Freitag, den 26. Januar um 14 Uhr in Anwesenheit von Prof. Dr. Udo Hebel, Präsident der Universität Regensburg und Claudia Zirra, Bereichsleiterin Hochschulbau des Staatlichen Bauamtes Regensburg, im Foyer des neuen Biologiegebäudes der Universität Regensburg statt. Prof. Dr. Dieter Weiss (Lehrstuhl für Experimentelle und Angewandte Physik) gab eine Einführung in die neuen Räumlichkeiten, die besichtigt werden konnten.

Strukturen in Halbleiter-Prozessoren und Datenspeichern haben zwischenzeitlich Größen von nur noch 10 Nanometer (1nm = ein Millionstel Millimeter) erreicht. Solche Strukturen können in Reinräumen, d. h. unter weitgehend staubfreien Bedingungen, mit Hilfe von Elektronenstrahllithographie hergestellt werden. Bei dieser Methode werden die gewünschten Strukturen mit einem feinst fokussierten Elektronenstrahl in einen Lack geschrieben und anschließend auf das Material übertragen. Auf diese Weise können solch winzige Strukturen in Halbleiter, in topologische Isolatoren aber auch in neue zweidimensionale Materialien wie Graphen (eine Atomlage Graphit) oder Dichalkogenide, (z.B. Molybdändisulfid und Wolframdisulfid) übertragen und beispielsweise transistorähnliche Bauelemente realisiert werden. Die Eigenschaften dieser neuartigen elektronischen Materialien werden gerade weltweit, auch im Hinblick auf mögliche elektronische Anwendungen, untersucht, so auch im neu eingerichteten Sonderforschungsbereich SFB 1277 „Emergente relativistische Effekte in der Kondensierten Materie“ an der Universität Regensburg.  Um die Physik dieser neuartigen Materialien zu verstehen, ist es nötig diese unter extremen Bedingungen, d. h. bei Temperaturen nahe am absoluten Nullpunkt und in hohen Magnetfeldern (bis zum 400.000-fachen des Erdmagnetfeldes) zu messen. 
 

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Reinraum der Universität Regensburg Foto: Johannes Ziegler


Ansprechpartner für Medienvertreter:

Prof. Dr. Dieter Weiss
Lehrstuhl für Experimentelle und Angewandte Physik
Universität Regensburg
Tel.: 0941 943-3197
dieter.weiss@ur.de

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